Evolution des MEMS, selon Yole

Selon le cabinet d’analyse de marchés Yole Developpement, un changement est en cours au sein des options technologiques relatives aux capteurs MEMS. Le marché des dispositifs MEMS reposant sur les boîtiers 3D, de nouveaux matériaux et des principes de détection va croître de 1,6 milliards de dollars en 2013 à 1,8 milliards de dollars en 2014, puis il va s’accélérer pour atteindre environ 3,7 milliards de dollars en 2019. Les «nouveaux» MEMS détenaient environ 14 % du marché total des MEMS en 2013. En matière de MEMS classiques, il est de plus en plus difficile de réduire à la fois le coût et la taille.

Il faut parvenir à optimiser à la fois le processus de fabrication, la taille, le principe de détection et d’utilisation de la pile 3D du MEM dans son boîtier. De nouvelles technologies apparaissent avec la miniaturisation des MEMS, qui conduisent à la technologie des NEMS. Les NEMS (Nano Electro-Mechanical Systems, ou en français « Systèmes ElectroMécaniques Nanométriques ») sont des nanosystèmes, qui assurent des fonctions de capteur ou d’actionneur sur des dimensions nanométriques.

Cette évolution conduit à mettre en œuvre de nouveaux principes de détection, telle que la piézo résistance avec l’emploi du titanate de zirconate de plomb (PZT) en tant que résistance variable ou tel que le capteur de pression à membrane en silicium. Les sociétés Tronics et Qualtre utilisent le PZT ou des matériaux en onde acoustique en vrac (BAW) pour mettre en œuvre des gyroscopes. Cette dernière technologie est utilisée pour l’autofocus au niveau de la plaquette et l’activation des micro-miroirs.

Bien que le PZT soit en cours de déploiement dans plusieurs sociétés, le nitrure d’aluminium pourrait avoir un bel avenir à long terme, car c’est un matériau plus stable. Tout dépend aussi des volumes de production envisagés. Voir aussi www.yole.fr/

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