Nouveaux capteurs à base de MEMs

Selon l’analyse de marché effectuée récemment par Yole Developement, la technologie des capteurs à base de micromécanismes électromécaniques (ou MEMs) est en cours d’évolution rapide.

Les MEMs sont constitués de microsystèmes mécaniques effectuant des fonctions de capteur ou d’automate. Ils sont de plus en plus utilisés dans l’industrie automobile, l’aéronautique, la médecine, les télécommunications, la sécurité ainsi que dans des applications de la vie de tous les jours, le chiffre d’affaire devant probablement tripler entre 2013 et 2019. Au fur et à mesure qu’ils envahissent les nouveaux marchés des technologies, leurs prix décroissent pour les plus anciens et leur taille diminue pour les plus nouveaux. Les industriels découvrent encore de nouvelles raisons pour les utiliser.

Mais la mise en œuvre de la piézorésistance a ouvert une nouvelle voie d’utilisation, en particulier avec le zirconate de titane (PZT) qui joue le rôle de résistance variable, comme il en était d’usage autrefois dans certains capteurs de pression à membrane en silicium. La société Tronics utilise le PZT et Qualtre met en œuvre des matériaux à onde acoustique (BAW) pour les gyroscopes ou pour l’activation des micro-miroirs. STMicroelectronics, Silex et Tronics, préfèrent le nitrure d’aluminium plus intéressant à long terme, car plus stable. Le choix parmi les technologies dépend aussi du nombre d’unités à fabriquer par an. Voir aussi www.yole.frhttp://analog-eetimes.com/

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